好險!DUV光刻機出口許可被撤 ASML:中國訂單已全數交付

好險!DUV光刻機出口許可被撤 ASML:中國訂單已全數交付

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雖然ASML的DUV光刻機出口許可證突然遭到撤銷,但是中國客戶訂單基本都已完成交付。(圖/ASML)

近日光刻機巨頭艾斯摩(ASML)發佈公告稱,去年2型DUV光刻機已獲准的出口許可證突然遭到撤銷,不過,中國大陸客戶預付購買DUV光刻機所積壓訂單基本都已完成交付。

據ASML指出,2023年NXT:2050i、NXT:2100i光刻系統的出貨許可證突然被撤銷,不過這沒有太多可以擔心的地方,因爲2023年ASML基本已交付了中國大陸客戶預付的DUV積壓訂單,至於2023年之後是否能繼續出口DUV光刻,在此之前本就無法確定。

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《快科技》報導說,事實上2023年ASML一直都在向中國客戶供應光刻機,其中就包含了NXT:2000i和更先進的DUV型號的產品。至於更先進的7nm以下更先進的EUV光刻機,ASML依然不能對中國客戶出售。

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據ASML官網提供的資訊,該公司目前在售的主流浸沒式DUV光刻機產品共有3款,分別是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

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報導說,ASML官網上關於TNXT:1980Di介紹中指出,它在解析度方面不小於38nm(可以支持到7nm左右),而這是指一次曝光解析度,事實上光刻機是可以進行多次曝光。

至於DUV是否能進行7nm以下更先進的製程?據臺積電前研發副總林本堅(Burn Lin)表示,依靠ASML的DUV光刻機,是可以繼續將製程工藝從7nm再推向5nm,但要付出非常高昂的代價,至少需要進行4重曝光,耗時而且價格昂貴,還會影響整體良率。DUV最多可以做6重曝光,實現更先進的工藝,但問題與困難也會更多。

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